2019年7月8日号〔No.668〕
【 レーザ微細加工技術特集】2019年度のレーザ微細加工装置市場は半導体産業の世界的低迷により減少傾向!
レーザ微細加工アプリケーションとして、近年はピコ秒・フェムト秒など極短パルスレーザによるガラスやセラミックス等、難加工材への微細加工が注目される一方、ナノ秒パルス高調波(SHG・THG)固体レーザも依然として様々な微細加工アプリケーションに適用されている。
以下に、微細加工用のレーザ及びその市場についてレポートする。
[極短パルスレーザ]
ピコ秒(1兆分の1秒)、フェムト秒(1千兆分の1秒)などパルス幅が極めて短いレーザは、材料に対する熱影響が極端に少ない加工が可能となる。
ピコ秒レーザのアプリケーションとしては、サファイア基板のスクライビングやスマートフォン用ガラスパネルカッティング等の実用化が進展しているものの他、セラミックス等難加工材の高精度切断・微細穴あけ、薄膜パターニング、各種フィルムのカット、OLEDリペア加工等が挙げられる。一方、フェムト秒レーザのアプリケーションとしては体内吸収型ステント加工、クリアサーフェイス(表面改質)等がある。
2018年度のピコ・フェムト秒合わせた極短パルスレーザ発振器の市場は、およそ140台。2019年については、160台前後まで伸びると予想する。(本文より)
・UV/高エネルギーフェムト秒 高繰返のピコ秒レーザ新モデルを発表!/コヒレント・ジャパン
・微細マーキングを一括描画可能超高速・極小レーザマーキングヘッド「VULQ1」!/カンタム・ウシカタ
・高出力50WのUVピコ秒レーザ「IceFyre355―50」発売!/スペクトラ・フィジックス
・精密切断・溶接・穴あけ等に最適なレーザ精密切断装置「MLA500」好評!フェムト秒レーザ・エキシマレーザ微細加工装置もラインアップ/ビーム
・ユーザーの要望に応じカスタムメイドにも対応!レーザ微細加工装置に高評価!/片岡製作所
・マーキングはじめ微細加工に最適!JPT社製のMOPAファイバーレーザ発振器!/アストロン
【レーザガス&周辺機器・装置特集】2018年度CO2レーザ発振器用シリンダーガス需要は前年比微減の約11万8千本と推定
・周辺機器・装置レーザパワーメータは横ばいビームプロファイラーの需要は増加傾向が続く!
・高出力ディスク・ファイバーレーザ計測に最適!非接触ビームモニタリングシステム「BEAM WATCH」
/オフィールジャパン
・“減衰光学系の不要な” ビームプロファイラ「BPFシリーズ」デモ器の貸し出しも!/カナレ電気
・屋外設置型コンプレッサ内蔵ガス発生装置「GENE―BASEシリーズ」周囲温度45℃対応・設置コスト大幅削減を実現!/コフロック
・顧客ニーズにきめ細かく対応する「ハイレーザーガス」が好評!/高圧ガス工業
・高純度・高品質・高信頼性レーザガス「サンレーザ」/大陽日酸/日酸TANAKA
・豊富なレーザ用ガス/供給システムにより最適なソリューションを提案!/日本エア・リキード/エア・リキード工業ガス
・三菱電機最新技術・製品説明会石川鋼材潟tァイバーレーザ加工機内覧会挙行!
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