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2017年7月10日号〔No.620〕



【 レーザ微細加工技術特集】
2017年度のレーザ微細加工
装置市場は回復傾向で推移!
ピコ秒レーザの実用化はさらに進展


 従来、微細加工用レーザと言えば、ナノ秒パルスの高調波(SHG・THG)固体レーザが主流であったが、近年はこれに代わり、ピコ・フェムト秒レーザ等の極短パルスレーザが台頭している。
 極短パルスレーザが適用されている分野は、半導体・電子部品分野に加え、近年はマイクロデバイス、ナノテクノロジー、メディカルなど、様々な分野に及んでいる。
 以下に、微細加工用のレーザ及びその市場についてレポートする。

 

◎極短パルスレーザ
◎基本波・高調波固体レーザ
◎エキシマレーザ
◎今後の見通し

 

 


 

 

・低コスト、コンパクトサイズ、高信頼性
 革新的ピコ秒レーザシステム!
 「Ice Fyre」好評!
 スペクトラ・フィジックス

 

 

 

・各種レーザ発振器搭載可能!
 様々な用途に対応する
 レーザ微細加工装置!
 片岡製作所

 

 

 

・各種光学部品を最適に
 組み合わせた光学系全体の
 ソリューション提案を!
 住友電気工業

 

 

 

 

・リーディング企業として
 統合後、さらに広範な
 ソリューションを展開!
 コヒレント・ジャパン

 

 

 


・ピコ・フェムト、UV・DUV等
 微細加工に最適なレーザ発振器
 各種ラインアップ!
 カンタムエレクトロニクス

 


【レーザ業界ニュース】
・三菱電機メカトロニクス
 フェアin中日本盛況!
 8kWファイバーレーザ加工機
 及び新型制御装置を披露

 

 

 

 

・優れた基本性能とシンプルで使いやすい
 FAYbレーザマーカ
 「LP―RF200P」新発売
 パナソニックデバイスSUNX

 

 


インタビュー
 「新素材切断加工技術」の強みを活かし
 製品ラインアップの拡充・深化図る!
 ―澁谷工業 メカトロ事業部サイラス本部
  本部長 道本 弘和氏に聞く

 

 

・小型・高速・低ランニングコスト
 「レーザリフトオフ(LLO)」
 装置に注目集まる!
 タカノ





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ピコ秒レーザによるジルコニアの貫通穴加工
(写真提供・潟潟vスワークス)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
ピコ秒レーザ発振器「Ice Fyre」
(スペクトラ・フィジックス)
 

レーザパターニング装置
(片岡製作所)

ファイバーレーザ用非球面レンズ
(住友電気工業)
 
ロフィン・シナール社との統合後の
出展ブースのもよう
(コヒレント・ジャパン)
 
ファイバークリスト社製フェムト秒レーザ発振器
(カンタムエレクトロニクス)
 
「三菱電機メカトロニクスフェア2017in中日本」で
展示・実演されたファイバーレーザ加工機
「ML3015eX―F80」
(三菱電機且Y業メカトロニクス事業部)
 
 
FAYbレーザマーカ「LP―RF200P」
(パナソニックデバイスSUNX)
 
澁谷工業 メカトロ事業部サイラス本部
本部長 道本 弘和氏
 

レーザリフトオフ(LLO)装置
(タカノ)

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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