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2016年5月23日号〔No.594〕

【レーザ微細加工技術特集】
2016年度レーザ微細加工装置
 市場は横ばいから微減か!
極短パルスレーザ需要は拡大の見通し

 

 半導体・電子部品分野だけでなく、近年はマイクロデバイス、ナノテクノロジー、メディカルなど、様々な分野にレーザ微細加工技術が適用され始めている。
 かつて微細加工用のレーザと言えば、YAGやYVO4等の固体レーザの高調波(SHG・THG)、エキシマレーザが主流であった。
 近年は高調波固体レーザにおいてファイバーレーザが台頭する一方、ピコ・フェムト秒等の極短パルスレーザが急速に普及している。
 以下に、微細加工用のレーザ及びその市場についてレポートする。

(本文より)

 

◎極短パルスレーザ
◎基本波・高調波固体レーザ
◎エキシマレーザ
◎今後の見通し

 


 


・各種微細加工に適用可能!
 極短パルスレーザ発振器「Spirit」
 ハイブリッドUV・グリーンファイバー
 レーザ発振器「Quasar」
 スペクトラ・フィジックス

 

 

・ピコ秒レーザ発振器搭載
 微細加工システムの出荷好調!
 片岡製作所

 

 

 

 

・微細加工向けに
 極短パルス及び短波長レーザ
 発振器各種をラインアップ!
 日本レーザー

 

 

 

・ガラス・サファイア等難加工材の微細工
 ポリマー・複合材への非熱加工に最適!
 Fibercryst社製
 ピコ秒レーザ発振器!
 カンタムエレクトロニクス

 

 

 

 

・レーザ微細加工デモルーム好評!
 日本のモノづくりの一助に
 スペクトロニクス

 

 

 

・266nm深紫外ピコ秒レーザ発振器
 LDHシリーズが
 レーザー学会産業賞を受賞!
 「LDH―X0300」は
 新機械振興賞も受賞!
 スペクトロニクス

 

 

 

・6つの新製品や「革新的な
 ガラス加工技術」をPR!
 コヒレント・ジャパン

 

 

 

・ピコ秒レーザによる
 「ガラスなど脆弱性の高い材料の
 フィラメント加工」を提案!
 ロフィン・バーゼルジャパン

 

 

 

 

 

【レーザ業界ニュース】
・事前予約不要の
 オープンハウスを毎月開催!
 トロテック・レーザー・ジャパン

 

 

 

 

・セルフクリーニング機能搭載!
 金属系3Dプリンタ
 専用電気集塵機
 「FM―3DP」を発売
 アマノ

 

 

 

 

 


 

 

【レーザ関連特許出願公開速報】

 

 

 


 

 


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フェムト秒レーザによるSUSの四角錘加工
(写真提供 リプスワークス)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
極短パルスレーザ発振器「Spirit」
(スペクトラ・フィジックス)
 
モードロックピコ秒レーザ発振器
「KLY―PSA50α」
(片岡製作所)
 
AMPHOS社製極短パルスレーザ発振器
(日本レーザー)
 
Fibercryst社製「picosecondシリーズ」
(カンタムエレクトロニクス)
 
 
同社の最新鋭のピコ秒パルスレーザ加工装置で
実証試験が行える
(スペクトロニクス)
 
266nm深紫外ピコ秒レーザ発振器「LDH―X0300」
(スペクトロニクス)
 
「フォトニクス2016(レーザ加工技術展)」で
豊富な微細加工アプリケーションをPR
(コヒレント・ジャパン)
 
ピコ秒レーザシステム「StarPico F1シリーズ」
インテグレーションパッケージ
(ロフィン・バーゼルジャパン)
 
 
 
 
オープンハウスのもよう
(トロテック・レーザー・ジャパン)
 
金属3Dプリンタ電気集塵機「FM―3DP」
(アマノ)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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