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レーザ新報

2015年5月4日号〔No.570〕

レーザ微細加工技術特集
半導体・電子部品業界の回復で
レーザ微細加工装置市場は引き続き堅調!
―極短パルスレーザの普及さらに進む―

 レーザによる微細加工は、半導体・電子部品、マイクロデバイス、ナノテクノロジー、メディカルなど、様々な分野で適用されている。
 微細加工用のレーザとしては、以前はYAGやYVO4など、固体レーザの高調波(SHG・THG)や、エキシマレーザが主流だったが、近年はピコ・フェムト秒等の極短パルスレーザが急速に普及している。
◎極短パルスレーザ
 ピコ秒は1兆分の1秒、フェムト秒は1千兆分の1秒で、通常ピコ秒レーザは1パルスが数十〜数百ピコ秒、フェムト秒レーザは1パルスが数百フェムト秒と、パルス幅が極めて短いため、熱影響が極端に少ない加工が可能になる。
 極短パルスレーザは、以前から、特にガラスなどの難加工材の微細加工に向いていると言われていたが、出力及び繰返しが低いため、実生産への適用が難しくなかなか普及が進まなかった。

(本文より)

 

◎高調波固体レーザ
◎エキシマレーザ
◎市場動向



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 ダイレクトダイオード等
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【レーザ業界ニュース】

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 ダイレクト・ダイオード・
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・2014年度('14年4月〜'15年3月)
 レーザ関連特許出願公開状況集計
 特許出願公開総件数は335件で前年度比24.2%減
 同・件数順位は、
 1位ディスコ 2位アマダ
 3位ビアメカニクス/三星ダイヤモンド工業/
  旭硝子

 

 

 

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極短パルスレーザによるSUSの掘り込み加工
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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極短パルスレーザ発振器「Spirit」
(スペクトラ・フィジックス)

 

モードロックピコ秒レーザ発振器「KLY―PSA50α」
(片岡製作所)
 
 
フェムト秒ファイバーレーザ
「R300」奄ニ「R200」
(カンタムエレクトロニクス)
 
 
266nmピコ秒ハイブリッドレーザ
「LDH―X0300」
(スペクトロニクス)
 
 
「フォトニクス2015」会場のもよう
 
 
 
 
 
表. 2014年度('14年4月〜'15年3月)レーザ関連特許出願公開ランキング
 
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