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レーザ新報

2014年5月19日号〔No.548〕

【レーザ微細加工技術特集】
ピコ・フェムト秒レーザが台頭!
2014年度の加工市場は
前半度比若干増か!

 レーザは、指向性の高さ、細いビーム径、高エネルギー密度といった特性により、他の加工法に比べ微細加工に向いており、世界の産業界では様々な微細加工にレーザが適用されている。
 微細加工用のレーザとしては、2000年代前半までは固体レーザの高調波(SHG・THG)の応用が広がったが、近年、レーザ微細加工の世界では、ピコ・フェムト秒等の極短パルスレーザが急速に普及している。
 ピコ秒は1兆分の1秒、フェムト秒は1千兆分の1秒で、通常ピコ秒レーザは1パルスが数十〜数百ピコ秒、フェムト秒レーザは1パルスが数百フェムト秒と、パルス幅が極めて短いため、熱影響が極端に少ない加工が可能になる。

(本文より)

 


・マーキングや高精度トリミング
 ドリル、切断、薄膜パターニングに
 最適なファイバーレーザ発振器!
  日本レーザー

 

・様々な分野への応用に期待!
 独自機能を有する
 レーザ発振器をラインアップ
  スペクトラ・フィジックス

 

・自社開発の高品質レーザ発振器
 光学システム 「ビームローテータ」
 搭載レーザ微細加工装置好評!
  片岡製作所

 

・パルス幅可変
 パルスファイバーレーザ・ピコ秒モデル
 「Pico Pal」好評!
  メガオプト

 

・微細加工用途に優れた
 パルスファイバーレーザ発振器
 「LFS」シリーズ好評!
  ロフィン・バーゼルジャパン

 

・2013年度('13年4月〜'14年3月)
 レーザ関連特許出願公開状況集計
 特許出願公開総件数は442件で
 前年比4・5%増
 同・件数順位は、1位ディスコ
 2位アマダ、3位浜松ホトニクス
 4位三星ダイヤモンド工業、5位三菱電機

 

・OPIE2014開催!
 レーザEXPO2014
 レンズ設計・製造展等
 6展示会同時開催

 

・新型NC装置「MAZATROL
 PREVIEW3」を搭載した
 ファイバーレーザ加工機
 「OPTIPLEX 3015
 FIBER II」新発売!
  ヤマザキマザック

 

・レーザ遮光ウィンド
 「YL550ヤグ」などを
 JIWSに出展!
  山本光学

 



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レーザ微細加工例「Siウエハへの貫通穴加工」
(写真提供:(株)リプスワークス)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
red ENERGY G4 シリーズ
(日本レーザー)

極短パルスレーザ発振器「Spirit」
(スペクトラ・フィジックス)

ビームローテータ
(片岡製作所)

パルスファイバーレーザ発振器「LFS150」
(ロフィン・バーゼルジャパン)

OPIE2014のもよう

ファイバーレーザ加工機
「OPTIPLEX3015 FIBERII」
(ヤマザキマザック)

 
 
 
 
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