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レーザ新報

2012年5月21日号〔No.502〕

【微細加工技術特集】
短波長・短パルス固体レーザ中心に
高まる微細加工への適用進む

 レーザは指向性が良い等の特長を有することから、機械的な加工と比べてより微細な加工が行える。また、波長が短い方が微細加工に適すると言われており、現在、短波長化した固体レーザやエキシマレーザによる微細加工技術が様々な製造プロセスで適用されている。
 エキシマレーザは、例えばArFエキシマレーザの波長が193nmと、CO2レーザ(10.6μm)、YAG等の固体レーザ(1064nm)と比べて非常に短く、「世界一精密な機械」とされる半導体露光装置(ステッパー)の光源は、ArFエキシマレーザ発振器が主流だ。しかしエキシマレーザは、発振媒質に毒性ガスを用いるなど汎用性に欠ける点もあるので、半導体露光など限られたアプリケーションでの使用に止まっている。(本文より)


・高繰返しタイプの
 フェムト/UVレーザ発振器の
 PRを強化中!
 スペクトラ・フィジックス

・DDL発振器、普及加速!
 ドイツ・ダイレクトフォトニクス社と
 日本総代理店契約を締結!
 日本レーザー

・高出力シングルモード
 グリーンレーザ発振器、発売!
 微細加工と、高出力による
 生産性向上を提案!
 片岡製作所

・フェムト秒ファイバーレーザを始め
 極短パルスレーザを
 豊富にラインアップ!
 カンタムエレクトロニクス

インタビュー
 東アジアをターゲットに
 お客様に高付加価値を提供できる
 微細加工用レーザ装置の
 トップメーカーを目指す!
 ―オムロン(株)インダストリアル
  オートメーションビジネスカンパニー
  レーザ事業部事業部長・参与
  オムロンレーザーフロント(株)
  代表取締役社長 小林 光生氏に聞く―



レーザ加工 現場ルポシリーズ
 『今、現場で何が起こっているか!』
  VOL.12 No.136

 最新型レーザ加工機を「営業マン」に
 さらに付加価値ある加工目指す
 (株)タナカファクトリー

・「レーザーEXPO」開く!
 第4回レーザー学会産業賞
 表彰式も挙行!

 


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     今号のフォト・データ
 
 
     
     レーザで微細加工した
     サファイアのサンプル
     (レーザージョブ(株)提供)
 
     
     高繰返しフェムト秒再生増幅
     システム「Spirit」
     (スペクトラ・フィジックス)
超高輝度DDL発振器はCO2レーザ発振器、
固体レーザ発振器とは違った特性を持つ
(日本レーザー)
    
開発した高出力シングルモード
グリーンレーザ発振器
(縦220×横600×高さ120mm)
(片岡製作所)
フェムト秒ファイバー
レーザ発振器
Smart Lightシリーズ
(カンタム
エレクトロニクス)
     
     オムロン(株)インダストリアル
     オートメーションビジネスカンパニー
     レーザ事業部事業部長・参与
     オムロンレーザーフロント(株)

     代表取締役社長 小林 光生氏
 
 
 
     
     
     (上)アマダ製2次元CO2レーザ
     加工機「EML3510NT」
     (下)ヤマザキマザック製3次元
     CO2レーザ・パイプ加工機
     「3D FABRI GEAR」
     (タナカファクトリー)
 
 
 
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