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産業ガス新報

2015年11月30日号[No.325]

【エレクトロニクス材料ガスの
現状と今後の展望】
'14年の半導体特殊材料ガス売上高は
前年比微増!
'15・'16年も継続して成長の見通し

 

 半導体・液晶・太陽電池・LED等の製造工程では、窒素やアルゴン等の一般高圧ガスのほか、半導体・エレクトロニクス製造用特殊材料ガス(以下=特殊材料ガス)と呼ばれる様々なガスが使われている。
 特殊材料ガスとしては、モノシラン・亜酸化窒素・ジクロロシラン・四フッ化炭素・臭化水素・六フッ化硫黄・塩素・ホスフィン・アルシン・三フッ化窒素・六フッ化メタン等があり、半導体製造工程を例に挙げると、薄膜形成、エッチング、ドーピング、クリーニング等、様々な工程に適用されている。


(本文より)

 


 

 

 

【産業ガス関連・業界動向】
・平成27年度東京都高圧ガス保安大会挙行!
 東京都高圧ガス保安協会

 

 

 

 

・「平成27年度埼玉県高圧ガス防災訓練」実施!
 埼玉県・埼玉県高圧ガス団体連合会
 埼玉県高圧ガス地域防災協議会

 

 

 

 

 

・「平成27年度高圧ガス輸送車等防災訓練」開催!
 千葉県・千葉県高圧ガス地域防災協議会

 

 

・カタール・ラスガス社より
 ヘリウム製造設備の建設業務等を受注!
 千代田化工建設

 

 

・大陽日酸東関東M水戸製造所で
 液化ガス製造プラントが竣工
 大陽日酸

 

 

・名古屋大学へMOCVD装置納入
 次世代パワー半導体の研究に期待!
 大陽日酸


 

 

【決算情報】
・平成28年3月期第2四半期連結決算
 売上高3231億3千万円(前年同期比0.9%増)
 経常利益170億58百万円(同2.8%増)
 エア・ウォーター

 

 

 

 

 

・平成28年3月期第2四半期連結決算
 売上高158億25百万円(前年同期比7.2%減)
 経常利益7億46百万円(同7.5%増)
 東邦アセチレン

 

 

 

・平成28年3月期第2四半期連結決算
 売上高78億39百万円(前年同期比3.5%減)
 経常利益4億49百万円(同31.4%増)
 大丸エナウィン


 

 

 


 

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表彰式のもよう
(東京都高圧ガス保安協会)
 
高圧ガス防災訓練のもよう
(埼玉県・埼玉県高圧ガス団体連合会
 埼玉県高圧ガス地域防災協議会 )
 
高圧ガス輸送車等防災訓練のもよう
(千葉県・千葉県高圧ガス地域防災協議会)
 
 
 
 
 
竣工した液化ガス製造プラント No.5
(大陽日酸)
 
 
 
 
 
 
 
表.エアウォーターMの平成28年3月期第2四半期
連結決算における
産業ガスならびにエネルギー関連の製品別売上高明細
(エア・ウォーター)
 
表.東邦アセチレンM平成28年3月期第2四半期の
連結業績
(平成27年4月1日〜平成27年9月30日)
(東邦アセチレン)
 
表.大丸エナウィンM平成28年3月期第2四半期決算
(連結ベース)事業部門別実績
(大丸エナウィン)
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
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