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産業ガス新報

2011年3月28日号[No.269]

【エレクトロニクス材料ガス特集】
三フッ化窒素、アンモニア、
モノシラン等の需要増大!
化合物半導体・太陽電池等で
新たな需要用途拡大!

 (社)日本産業・医療ガス協会調べによる'09年度('09年4月〜'10年3月)の「主要半導体材料ガス等国内販売実績」は、需要金額497億円で前年度比10%減であった。(本文より)


・特殊ガス企画委員会を設立!
 最大充填容量の規制改革を!
 日本産業・医療ガス協会

インタビュー
 モノシラン工場、6月に三重県で竣工!
 MOCVDが国内外で需要増大!
 ─大陽日酸(株)電子材料事業本部・本部長附 兼
  事業戦略推進部長 濱田 敏彦氏に聞く─

・リソグラフィー用
 「エキシマレーザガス」販売好調!
 排ガス除外装置、ダクトなどトータル提案強化!
 巴商会

・オランダ・BIE社の株式取得!
 欧州市場での販路開拓へ
 新コスモス電機

震災が東北・北関東の半導体市場にも直撃!
 ─ 計画停電による周辺産業への波及にも懸念 ─

・東日本大地震に関し
 LPガス関連は大きな被害なし
 産業ガス関連は喜連川プラントのみ多少損害
 岩谷産業

・東日本大地震で
 一部生産設備に大きな被害
 停電等も安定操業に影響!
 大陽日酸

・生産設備一部損傷も被害は軽微
 ただし停電による稼動停止は影響大
 エア・ウォーター

・“最近の技報”より
 大型超高純度窒素ガス精製装置(概略)
 (大陽日酸技報 No.29 2010年12月)
 

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今号のフォト・データ
規制見直しによる改正の一例/
特殊材料ガスの最大充てん容量
 
 
三重県四日市でモノシラン工場を
建設中。6月に竣工予定。
生産能力1,000トン/年(予定)
(大陽日酸)
 
半導体製造工程で使うインプラ装置の
クリーニングを二フッ化キセノンで
行う「オートクリーン」
(巴商会)
 
東北・北関東地区における
主な半導体工場の被災状況
[2011年3月16日調査時点]
 
 
 
 
 
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